應用于等離子清洗

等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。                                                                   

等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個部分做一個陳述：

一、控制單元：

目前國內(nèi)使用的等離子清洗機，包括國外進口的，控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。

而控制單元又分為啷個大的部分：1）電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子

二、真空腔體：

真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的：1）不銹鋼真空腔體，2）石英腔體。

三、真空泵：

真空泵分為兩種：1）干泵 、2）油泵

中頻電源等離子清洗機，主用作用是物理作用。以單純的離子轟擊清洗物件的表面為主。

射頻電源等離子清洗機，主要作用是物理作用加化學作用相結(jié)合，以物理轟擊物件表面濺射出表面原子與氣體中電離的分子，原子產(chǎn)生化學反應，以達到表面改性的作用。

微波電源等離子清洗機，主用是化學作用，但是目前國內(nèi)很少用到，考慮到屏蔽效果的原因。

等離子清洗特點：

容易采用數(shù)控技術，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；由于是在真空中進行，不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染

目前隨著社會的不斷發(fā)展人們對產(chǎn)品質(zhì)量與環(huán)境要求的不斷提高，等離子清洗正逐步替代傳統(tǒng)的化學清洗被廣泛應用于電子行業(yè)（PCB板，LED，手機，汽車），橡塑，（橡膠，塑料表面清洗，絲?。┽t(yī)療行業(yè)等。

K-mate 系列射頻電源及自動匹配器與國內(nèi)多家知名企業(yè)（戈德爾，奧坤鑫）等保持長期射頻電源及自動匹配器供應。嚴格的品質(zhì)控制與高配置的進口元件相結(jié)合，為產(chǎn)品24小時不間斷運行提供了保障。射頻自動匹配器采用L型阻抗網(wǎng)絡，匹配范圍寬，能夠迅速調(diào)整匹配起輝放電。且能長時間穩(wěn)定運行。為客戶設備質(zhì)量打下堅實的基礎。